什么是智能型MOS氣體傳感器
發布時間:2022-05-07
作者:深國安電子
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什么是智能型MOS氣體傳感器呢?其原則上可直接稱為半導體氣體傳感器,不過注意,MOS氣體傳感器只是屬于半導體傳感器的一個分類,目前半導體氣體傳感器,按照半導體與氣體的相互作用是在其表面還是在其內部,可分為表面控制型和體控制型兩種,其次還按照半導體變化的物理性質,又可分為電阻型和非電阻型兩種。而MOS氣體傳感器是屬于非電阻型傳感器這類型的,它是利用mos二極管的電容,以及電壓特性的變化以及mos場效應晶體管的閾值電壓變化等特性而制成的氣體傳感器。
MOS氣體傳感器具體工作原理:是根據對氣體的吸附和反應,使半導體的某些特性發生變化對氣體進行直接或間接檢測。由于這類傳感器的制造工藝成熟,便于器件集成化,因而其性能穩定價格便宜,但也存在一個弊端,就是使用壽命短。目前智能型MOS氣體傳感器多數的用途都是用于測可燃氣體,例如測甲烷、液化氣、氫氣、乙烯等氣體。
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